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半導體設備⾃動化(Tray盤清潔機)

設備說明：

依生產需求進行Tray盤清潔。

功能說明：

以伺服機構逐一送出Tray盤

定位後進行清潔動作

清潔完成後再以伺服機構逐一收取堆疊